发布时间：2023-05-31
10月27日，2021年中国MEMS制作大会（China MEMS）在姑苏举办，这是今朝中国MEMS行业最具影响力的大会，由中国独一的MEMS行业构造——中国半导体行业协会MEMS分会结合微纳制作中试平台、中科院纳米所等举办，本年曾经是第三届。
会上，举办了“2020年中国半导体MEMS十强企业”颁奖典礼，颁布发表了上一年度海内优良的MEMS企业十强名单，该名单是今朝海内最威望的MEMS企业名录，代表如今中国MEMS范畴气力最强的10家头部企业。
歌尔微电子建立于2001年6月，2008年5月在厚交所上市，次要聚焦MEMS麦克风及模组、智能传感器及模组、SiP封装等相干营业，专注于MEMS相干产物的自立研发设想与制作，其产物已普遍使用于智妙手机、无线耳机、智能穿着、智能家居、无人机及汽车电子等范畴。
《中国传感器开展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，中国微型麦克风代表性企业，在微型麦克风采畴，市场占据率居天下偕行业之首。据Yole Development 《202年MEMS财产近况陈述》显现，歌尔在2020年环球MEMS厂商营收排名中升至第六位，继客岁初次跻身前十后，仅用一年工夫排名升至第六，也是前十名中唯逐个家中国企业，陈述还指出，在MEMS麦克风方面，歌尔15年来初次超越楼氏电子成为行业第一。
上市企业，上半年市值约1351亿元，2021上半年营收302.88亿元，同比增加94.49%；上半年净利润17.31亿元，同比增加121.71%
瑞声科技控股有限公司为智能装备供给抢先的微型专有手艺处理计划，在声学、光学、触觉反应、精细制作、微电机、无线射频和天线范畴具有质料研发、仿真、算法、设想、主动化和工艺开辟等尖端手艺。
团体在设想和多量量高精细制作方面有近三十年经历，《中国传感器开展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，中国电声元器件代表性企业，环球出名的电声元器件制作商之一，2005年在香港上市。在微型声学、触觉、MEMS麦克风采畴，别离被工信部认定为我国制作业单项冠军树模企业。现已成为环球抢先的偕行、IT及消耗电子市场微型元器件团体计划供货商。
港股上市企业，上半年市值约316.94亿元，2021上半年营收86亿港元，同比增加9.90%；上半年净利润9.21万港元，同比增加187.40%
华润微电子是2002光阴润团体收买华晶团体改组而成，是抢先的半导体和智能传感器供给商，总部位于无锡，具有3条6英寸线，此中MEMS产线是海内范围最大的与CMOS消费线兼容的MEMS传感度量产消费线，具有海内抢先程度的 MEMS 外表和体硅加工手艺，用于制作压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。
华润微电子8吋MEMS的3000片/月产能扩大曾经完成，并投入利用。光电及MEMS麦克风工艺平台从6英寸晋级到8英寸，完成批量消费，产物机能及良率程度优良；团体提拔了其MEMS工艺手艺程度和合作才能。
上市企业，上半年市值约908.9亿元，2021上半年营收44.55亿元，同比增加45.44%；上半年净利润10.68亿元，同比增加164.86%
姑苏敏芯微电子手艺股分有限公司建立于2007年9月，是一家专业处置微电子机器体系传感器研发设想的高新手艺企业，公司总部在姑苏产业园区，并在姑苏产业园区、昆山设有传感器产物制作工场。
今朝，凭仗自立常识产权的芯片设想，并与国际出名Fab厂和封装厂协作，完成了公司产物的研发与财产化，并动员了MEMS高低流财产链的开展。公司三大产物线别离为MEMS麦克风、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器，使用处景涵盖了消耗电子、医疗、产业掌握和汽车电子等范畴。
《中国传感器开展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，EET电子工程专辑（中国）2021年中国传感器公司TOP10之一。敏芯作为中国最早建立的MEMS研发公司之一，现已具有完好的芯片设想、晶圆制作、封装与测试等全财产链的自立研发设想才能，凭仗完整自立设想的MEMS芯片与ASIC芯片胜利突破了外洋厂商持久把持的格式，为MEMS全财产链的国产化探究了一条完好的门路。
上市企业，上半年市值约51.55亿元，2021上半年营收1.87亿元，同比增加40.17%；净利润1021.77万元，同比增加-40.05%
中国电子科技团体第十三研讨所全资子公司，中国MEMS行业协会理事长单元，特地努力于MEMS（微电子机器体系）器件与体系的研发、消费和贩卖。持续多年荣获“中国半导体MEMS十强企业”，是海内最大的MEMS中心芯片、器件和体系产物供给商，中国MEMS手艺指导者。
《中国传感器开展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，中国MEMS传感器代表性企业，EET电子工程专辑（中国）2021年中国传感器公司TOP10之一。劣势产物包罗MEMS惯性器件与体系、MEMS传感器、汽车传感器、压力传感器、射频（RF）MEMS器件等，产物普遍使用于航空航天、高铁、汽车、主动驾驶、通讯、地动监测、物联网、聪慧都会、智能家电等范畴。
2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS尺度加工手艺及在高机能MEMS 器件中的使用”经由过程科技部构造的专家验收，用于MEMS陀螺仪、加快率计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高机能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸产线 美新半导体（天津）有限公司
美新半导体（MEMSIC）是环球抢先的惯性MEMS传感器及处理计划供给商，于1999年景立, 今朝总部位于中国天津，在美国圣何塞和中国无锡半岛体育在线、上海、深圳、台北设有研发机构，在中国无锡、上海具有制作和封测工场，贩卖及手艺撑持收集广泛亚太，北美，欧洲，非洲和中东等地域。
《中国传感器开展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，中国惯性传感器代表性企业，EET电子工程专辑（中国）2021年中国传感器公司TOP10之一，原创开辟了基于尺度CMOS流程的微电机体系和环球抢先的制作工艺和测试手艺，胜利研收回30多种型号的加快率传感器、磁传感器等产物。
2007年在NASDAQ上市，是环球第一家MEMS上市公司。2020年，美新得到mCube独家受权其一切惯性传感器芯片手艺，片面规划电容式加快率计和陀螺仪范畴。近来完成10亿群众币A轮融资，海内最大的MEMS惯性传感器公司，具有特征工艺MEMS消费线 姑苏纳芯微电子股分有限公司
姑苏纳芯微电子是高机能高牢靠性模仿芯片的研发设想企业。公司自2013年景立以来，专注于环绕各个使用处景停止产物开辟，由传感器旌旗灯号调度ASIC芯片动身，向前后端拓展了集成式传感器芯片、断绝与接口芯片、驱动与采样芯片，构成了旌旗灯号感知、体系互联与功率驱动的产物规划。
在混淆旌旗灯号处置、高耐压数字断绝、集成式传感器设想等范畴具有自力常识产权和丰硕手艺储蓄，产物已作为新能源汽车、产业主动化等使用的枢纽芯片，胜利进入多个行业一线客户的供给系统并完成大范围量产。同时公司连续加大各使用处景的产物研发，产物被普遍使用于海内出名品牌客户，涵盖信息通信、产业掌握、汽车电子和消耗电子等范畴。
上海矽睿科技有限公司建立于2012年9月，专注于MEMS智能传感器营业，设想和消费优良传感器产物，并为客户供给响应的智能使用计划和效劳。
矽睿科技具有完整自立常识产权，申请并胜利受权70余项国际海内创造专利，专利组合笼盖MEMS工艺制程、传感器设想和ASIC设想、算法和体系使用软件等。《中国传感器开展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，专业处置高端MEMS传感器和施行器、微体系等手艺与产物的开辟、消费及贩卖。
西人马结合测控建立于2017年，总部座落于福建，北方总部座落于北京、北方总部座落于深圳，欧洲总部座落于法国巴黎。西人马结合测控总人数近1000人，此中科研职员约600人，具有超越500项专利，并以每一年30%以上的速率递增。
EET电子工程专辑（中国）2021年中国传感器公司TOP10之一，接纳IDM形式，专注于传感器芯片及相干调度芯片的研发、设想、制作和封测。
作为一家IDM芯片供给商，西人马具有先辈的MEMS\ASIC\SoC和非硅基芯片的设想、制作、封测才能，基于这些先辈的中心手艺，西人马既能够零丁给客户供给高品格的芯片产物，也能够供给响应的模组和处理计划，操纵西人马先辈的传感器、边沿计较产物和响应的开辟套件协助客户快速地搭建起具有监测与掌握功用的A-IoT体系。
华虹由原上海华虹NEC电子有限公司和上海宏力半导体系体例作有限公司兼并而成，自建立中国第一条8英寸（200mm）集成电路消费线起步，华虹宏力在上海金桥和张江共有三座8英寸晶圆厂（华虹一厂、二厂及三厂），月产能约18万片。
在8英寸制作平台上，华虹完成MEMS器件与尺度CMOS工艺及消费线的全兼容。已流片的产物包罗磁力计、加快率计、压力传感器等。
睿创微纳总部位于山东烟台，是处置公用集成电路、红外热像芯片及MEMS传感器设想与制作的企业。
2020年7月，与烟台开辟区签订和谈，建立一条8英寸MEMS工艺线和一条化合物半导体工艺线。此中，化合物半导体芯片工艺线面向半导体激光器、光电探测器、微波器件和功率器件；MEMS工艺线面向高端光学MEMS器件、RF MEMS器件和惯性MEMS传感器等。8、罕王微电子（IDM&代工）
罕王微电子是一家以MEMS传感器设想及制作消费为中心的高科技中美合伙企业，总部位于辽宁省沈抚新区，系罕王团体控股子公司。
罕王微电子2016年收买美信旗下MEMS传感器营业，2018年建成海内首条8英寸纯MEMS范围化量产线，工艺才能涵盖MEMS芯片消费全流程，设想晶圆产能36万片/年。消费传感器包罗：陀螺仪、IMU惯性丈量单位、射频RF-MEMS及加快率、温度、湿度、压力、应力传感器等。
9、河北美泰（IDM）中国电子科技团体第十三研讨所全资子公司，2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS尺度加工手艺及在高机能MEMS 器件中的使用”经由过程科技部构造的专家验收。
6英寸SOI MEMS尺度工艺和封装手艺用于MEMS陀螺仪、加快率计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高机能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸产线、厦门西人马（IDM）
西人马（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人马结合测控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）建立于2017年，是西人马MEMS高端传感器和芯片制作基地，占地70亩，修建面积20000㎡，具有6000㎡的超净车间和先辈微纳米研讨尝试室，装备8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能传感器芯片产线和中国先辈的MEMS器件加工平台。
西人马19年11月得到朗润基金数万万A轮融资，20年一季度得到A+轮的1亿元群众币融资，本年3月获B轮融资，开展疾速，西人马曾经成为海内MEMS范畴IDM芯片公司的鳌头，红外和压力传感器逐日产量能够到达几十万颗。
奥松电子建立于2003年，专注于MEMS半导体工艺手艺，是海内领先使用MEMS半导体工艺手艺消费传感器芯片的高新手艺企业，也是广东省MEMS范畴集研发、设想、制作、封装测试、终端使用为一体的MEMS智能传感器全财产链（简称IDM）企业。
2019年奥松电子斥巨资打造MEMS半导体芯片消费线，一期工程净化车间总面积约2500平方米，设置湿法洗濯区、百级干净度光刻区、千级干净度镀膜区、千级干净度刻蚀区、千级干净度离子注入区及观光通道等。
2020年9月，广州奥松电子有限公司6英寸MEMS半导体传感器芯片消费线正式投入运营，胜利量产出温湿度、流量、气体、差压、风速等传感器芯片。
奥松电子MEMS半导体消费线纳米MEMS半导体工艺制程，消费装备约占全部投资范围的70%。按照计划，2021年二期工程将建成350纳米制程工艺MEMS半导体消费线纳米制程工艺MEMS半导体消费线；总项目局部建成投产后，每个月流片范围将到达4万片，2021年8月，奥松电子官网颁布发表对外开放MEMS芯片代工营业，包罗装备同享、手艺撑持、企业孵化等效劳。
2021年4月奥松电子控股的全资子公司——奥松半导体（珠海）有限公司，将在珠海高新手艺财产开辟区建立8英寸先辈MEMS特征半导体IDM财产基地项目。该项目建成后，将成为海内先辈的MEMS芯片及智能传感器财产集群，进步MEMS芯片的代工和量产才能。
诺思微体系位于天津，是一家无线装备射频前端MEMS滤波芯片效劳商，其产物次要接纳薄膜体声波谐振器(FBAR)手艺和硅衬底的微电机体系(MEMS)制作手艺，同时为无线射频滤波器、双工器、和多工器等供给处理计划。
诺思微已投产一条6英寸MEMS晶圆消费线英寸工艺研发线。厂房和研发中间总占空中积2.7万平方米。
2021年3月，国度重点研发方案“制作根底手艺与枢纽部件”重点专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件枢纽手艺与平台”的项目在诺思微体系启动，针对5G/6G无线通信、物联网等对射频滤波器、智能传感器提出新的手艺请求，对完成晶圆级硅基MEMS压电器件的大范围消费、挣脱我国今朝枢纽MEMS压电器件受制于人的场面，有主要意义。
2021年8月完成4亿元融资，估计在一年内片面加快产能开释，达年产20亿颗滤波器芯片的产能范围。13、科技（IDM&代工）
建立于2010年，总部在江苏张家港，建立有完好的磁传感手艺——地道磁电阻（TMR）的磁应芯片产线。
科技的磁传感器晶圆代工场具有6英寸和8英寸MEMS晶圆产线，供给完好的磁传感器（AMR / GMR / TMR）开辟及晶圆制作效劳（包罗设想、制作和测试），年产10亿个TMR磁传感器。
2021年5月科技获4亿元融资，将用于对现有产线停止晋级，可以进一步强化“自研、自产、手艺抢先”的中心合作力。
14、湖南启泰传感科技（IDM）2006年景立，总部在湖南浏阳。启泰传感以王国秋传授为首的科研团队霸占了异质膜枢纽工艺与手艺，建立海内第一条金属基薄膜力敏芯片——MEMS压敏传感芯片消费线，是天下上少数几家具有金属溅射薄膜压敏芯片范围化消费才能的公司之一。
2019年8月该消费线完成批量消费，年产压敏传感芯片50万颗，至2021年一期工程顺遂竣工投产，用空中积35亩，建立总用空中积2万多平米，传感器芯片年消费才能可达600万颗，传感器封装200万支，年产值可达10亿元。
二期项目正在停止，估计竣工后，传感器芯片产能将达2000万颗，传感器封装1000万支，年产值可达50亿元。
高德红外创建于1999年，总部位于武汉，具有8 英寸 0.25um 批产型 MEMS 消费线，是今朝海内唯逐个条自立可控且具有批产才能的非制冷红外焦平面探测器消费线 从低到高各种面阵规格产物型号批产才能。
武汉衍熙微器件具有天下第一条8寸体声波（BAW）量产线，具有先辈的光刻、薄膜、蚀刻和封装装备，并成立立异自立开辟的产物消费流程。该产线次要产物有MEMS滤波器、双工器等。2018年，武汉衍熙微器件停止项目扩建，一期为租赁现有厂房5600平方米，建立3600平方米的无尘室车间；二期方案建立约10000平方米的无尘室车间，用于扩展消费。
杭州士兰微1997年景立，是海内范围最大的集成电路芯片设想与制作一体（IDM）的企业之一。自2010年开端，士兰微电子投入大批资金，经由过程对加快率传感器、地磁传感器、压力传感器等一系传记感器产物的开辟，在6吋、8吋芯片消费线上完成了批量制作才能，并成立本人的MEMS封测消费线，开端走通了系传记感器的IDM开展之路，已申请相干创造专利百余项。今朝士兰微MEMS传感器产物系列丰硕，有：MEMS加快率计、三轴AMR磁传感器、六轴惯性传感器、高机能MEMS麦克风、数字三合一传感器、心率传感器、高机能气压压力传感器等。
2021年7月30日，士兰微收回资产重组通告，引入国度集成电路财产投资基金股分有限公司，召募11亿元。
姑苏固锝建立于1990年，是海内二极管龙头企业，旗下子公司明锐光电、明皜传感、艾特曼电子等涉足MEMS传感器IDM营业。
2010年固锝收买明锐光电，明锐光电次要处置MEMS-CMOS三维集成制作平台手艺及八寸晶圆级封装手艺及产线年景立明皜传感，处置微电机传感器芯片和器件的工艺开辟、设想。2021年8月，明皜传感获小米投资，注书籍钱由 6443.64 万元群众币增长至 7085.19 万元群众币，增幅为 9.96%。
2012年景立艾特曼电子，次要处置晶圆级MEMS器件封装工艺及相干中心手艺的开辟并供给代工效劳，效劳范畴涵盖消耗类电子产物、汽车电子、产业掌握、家电范畴惯性传感器（加快率计、陀螺仪）和红别传感器等。
2021年6月，姑苏固锝与华景传感合伙建立华锝半导体，愿景是将华景传感的MEMS麦克风芯片设想手艺与姑苏固锝的封测手艺及消费经历相分离，逐渐完成MEMS麦克风在高端范畴的入口替换。
同月，华锝MEMS声学传感器及射频滤波器封测项目落户姑苏。项目一期产线将成立契合华为系统尺度的MEMS声学传感器的封测基地，次要客户有小米、科大讯飞等；二期将引入海内初创MEMS麦克风及射频滤波器的WLP晶圆级封装产线，该晶圆级封装为芯片流片工艺最初一道枢纽工艺，华锝将具有自立晶圆级封装相干自立手艺常识产权。19、姑苏纳米城（中试线）
姑苏纳米城6英寸MEMS中试线由姑苏纳米科技开展有限公司（姑苏产业园区当局出资）建立，是江苏省“十二五”严重科技平台项目。
姑苏6英寸微纳电机制作（MEMS）中试线接纳市场化、全开放的运作形式，次要展开MEMS产物工艺研发、MEMS加工、部门封装测试、专利运营、装备租赁、超净园地租赁、工艺手艺培训等十多项专业效劳，今朝已胜利导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产物
是海内首条硅基4/6英寸兼容MEMS中试代工平台，超净范围海内一流；装备了国际一流装备的中试代工线，中试消费才能可达月产传感器十万只，产物的测试情况也居海内先辈程度。21、中科院微电子所（中试线年由中科院微电子所设立的MEMS研发平台，其8英寸MEMS中试线%；针对三轴重力加快率计、基于氧化钒的红外图象传感器、医用CT中X-ray探测、基于薄膜体声波滤波器（FBAR）、MEMS红外探测器等产物。
22、上海微手艺工研院（中试线年，上海微手艺产业研讨院（以下简称“工研院”）构建的海内首条，环球抢先，兼容CMOS的8英寸研发中试线正式投入运营，月产量将到达3000件。
该产线布置了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相干工艺和量测装备。作为海内第一条先辈8英寸研发中试线英寸研发中试线不只可负担产物研发、小批量消费、手艺培训、装备考证等效劳，有助于提拔研发的胜利率。
本年6月，上海微手艺工研院颁布发表将8英寸线每一年四分之一的总机时赞助给上海大学，用于微电子学院讲授理论，为期5年。23、中科院上海微体系所（研发平台）
中国科学院上海微体系所现有的MEMS手艺平台由微体系加工平台和微体系封装平台两部门构成，别离位于上海微体系所漕河泾园区内主楼的一层和二层净化间内。
全部平台具有100多台套先辈的大中型装备，总代价达1.1亿元，能够完成从微芯片制作、芯片封装、器件测试、微体系集成等成套工艺，为微体系研讨供给有力的手艺保证。滥觞：昔日半导体
